普通狀況下,爆炸事故在真空泵應用中是很少見的,但是在某些狀況下仍應留意該類狀況的發作, 如在(或接近)高化學計量濃度下運用象硅烷(SiH4)這種自燃引火的氣體和運用O2、H2混合氣體的狀況下。這些混合氣體對靠容積緊縮排氣和靠吸附貯存氣體的真空泵,例如關于容積式機械真空泵、分子篩吸附泵和低溫吸附泵來說,存在的風險性是非常明顯的。
   我們必需留意,在普通的油封式機械真空泵中,假如沒有采取維護措施或恰當的操作工藝,運用這些氣體的潛在風險性就會更大。發作事故的緣由很簡單, 即泵腔的緊縮升溫,使風險氣體密度和溫度升高超越允許值,發作爆炸;或像SiH4一類氣體,假如在普通機械泵油中的溶解度足夠高,在泵的油箱中即能到達發作爆炸的濃度。假若在這種狀況下真空泵發作爆炸,使鑄造的泵體或油箱崩裂而飛出的碎片就會對操作人員形成嚴重的傷害。預防的辦法是在被抽氣體進入機械真空泵前使氣體完整降溫,比方運用一個簡單的熱交流器即可。預防氫氣爆炸風險的措施是:在氫氣進入緊縮抽氣系統前使其降溫,并將氫氣氣體的濃度(能夠采用摻入惰性氣體的辦法)減低到風險濃度以下。
   其次應保證真空系統中的水冷卻系統正常工作(壓力、流量),而且不產生走漏。一切的冷卻回路必需能接受正常的工作水壓所產生的壓力(應具有恰當的平安系數)。在真空系統的工作中,系統內一切安裝的冷卻回路的冷卻劑入口和出口必需保證暢通而無阻塞現象,這個問題應該采用對冷卻劑流量(而不是對壓力) 停止監控的聯鎖安裝來處理。
    系統中的一切玻璃部位,包括玻璃察看窗,必需維護其不受撞擊,假若玻璃破碎,工作人員不能遭到玻璃飛片的碰傷。關于可能發這種不測狀況的部位,普遍的做法是采用粗網格鐘罩式的防爆屏障。